從衛(wèi)星推進器到半導(dǎo)體刻蝕設(shè)備，從醫(yī)療滅菌腔體到科研粒子加速器，高真空環(huán)境（10?3 Pa 甚至更低）對產(chǎn)品的密封性能提出了近乎苛刻的要求。

一旦密封失效，輕則工藝污染、實驗失敗，重則設(shè)備損毀、任務(wù)中斷。
而真空密封可靠性測試，正是驗證產(chǎn)品在極端低壓下能否長期保持氣密性的關(guān)鍵手段。

今天，就帶你深入這項“看不見卻至關(guān)重要”的可靠性驗證——它不僅是漏率檢測，更是材料、結(jié)構(gòu)與工藝的終極協(xié)同考驗。

一、為什么普通“氣密測試”不夠？真空有特殊要求

很多人認為：“用氣泡法或壓降法測不漏就行。”
但在高真空場景中，這種認知極其危險：

• 微小泄漏在常壓下不可見，但在真空下會持續(xù)放氣；

• 材料本身會“出氣”（Outgassing），即使無泄漏也會破壞真空度；

• 溫度變化引發(fā)密封應(yīng)力松弛，導(dǎo)致“冷焊”失效或O型圈永久變形。

? 核心區(qū)別：
普通氣密測試關(guān)注宏觀泄漏，
真空密封測試關(guān)注微觀漏率 + 材料放氣 + 長期穩(wěn)定性。

二、真空密封失效的三大元兇

?? 1. 真實泄漏

• 密封面劃傷、焊接氣孔、螺紋間隙；

• 漏率通常 >1×10?? Pa·m3/s，可通過檢漏儀定位。

?? 2. 虛擬泄漏

• 腔體內(nèi)部存在封閉空腔（如盲孔、疊層縫隙），緩慢釋放 trapped 氣體；

• 表現(xiàn)為“持續(xù)緩慢升壓”，難以定位。

?? 3. 材料放氣

• 塑料、橡膠、膠粘劑、潤滑脂在真空中釋放水汽、有機物；

• 即使完全密封，也會導(dǎo)致真空度劣化，污染光學/電子表面。

三、真空密封可靠性測試怎么做？

1. 氦質(zhì)譜檢漏

• 將被測件抽真空，噴氦氣于可疑部位；

• 若有泄漏，氦進入腔體被質(zhì)譜儀捕獲；

• 靈敏度可達 5×10?13 Pa·m3/s，適用于航天級要求。

2. 壓升率測試

• 抽真空至目標壓力（如10?3 Pa），關(guān)閉閥門；

• 監(jiān)測一段時間內(nèi)壓力上升速率；

3. 高溫烘烤 + 真空暴露

• 在真空腔中加熱至80–150℃，加速材料放氣；

• 模擬長期在軌或運行狀態(tài)下的穩(wěn)定性；

• 常用于半導(dǎo)體和航天部件預(yù)處理。

4. 熱循環(huán)+真空組合測試

• 在真空環(huán)境中進行-55℃ ? +125℃循環(huán)；

• 驗證密封件在熱脹冷縮下的長期氣密保持能力。